磁致伸缩薄膜和微驱动器

吴秀丽

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本文主要介绍日本东北大学电气通信研究所的荒井贤一教授和本田等人开展磁致伸缩薄膜驱动器的研究工作.他们把半导体集成电路制造技术应用于微机械加工中,试制成磁致伸缩型微驱动器.随着半导体集成电路技术发展起来的半导体微机械技术,实现微机械加工技术的研究正在广泛开展,最近已报道了在硅基片上制作成功微小发动机和各种微型机构的消息。

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来源
《光机电信息》 |1996年第4期|21-24|共4页
作者
吴秀丽;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TH－39;
关键词
磁致伸缩薄膜; 微驱动器; 日本;

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