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原子力显微镜测量双光子成型点的弹性模量

         

摘要

提出了一种飞秒激光双光子成型点弹性模量的测量及结果分析方法.借助于原子力显微镜,选用无针尖探针对成型点的力学性能进行了测试,建立了椭球-平面接触的弹性力学模型.考虑了成型点剩余部分形变对结果分析的影响,在标定微探针弹性系数和对粘附力进行分析的基础上,提取了力曲线中所包含的力学信息,推算出了成型点的弹性模量,得到了成型点的弹性模量低于宏观材料弹性模量的结论.

著录项

  • 来源
    《光学精密工程》 |2006年第4期|667-672|共6页
  • 作者单位

    中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026;

    中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026;

    中国科学技术大学,纳米结构与物理研究室,安徽,合肥,230022;

    中国科学技术大学,材料力学行为和材料设计研究实验室,安徽,合肥,230026;

    中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026;

    中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026;

    中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 弹性力学;
  • 关键词

    原子力显微镜; 成型点; 弹性模量; 无针尖探针; 力学模型;

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