电容式环形微机电振动陀螺的设计

著录项

• 来源
  《光学精密工程》 |2019年第4期|842-848|共7页
• 作者

  寇志伟; 曹慧亮; 石云波; 张英杰; 刘俊;

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• 作者单位

  中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;

  山西太原030051;

  内蒙古工业大学电力学院;

  内蒙古呼和浩特010051;

  中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;

  山西太原030051;

  中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;

  山西太原030051;

  中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;

  山西太原030051;

  中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;

  山西太原030051;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 结构;
• 关键词

  微机电系统; 环形微机电陀螺; 敏感结构; 电容电极; 加工工艺;