自混合干涉型振动仪应用于PZT特性的测量

张德辉; 禹延光; 叶会英

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自混合干涉型振动仪应用于PZT特性的测量

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激光自混合干涉(SMI)是新浮现的一种干涉测试技术,其利用出射激光束的一小部分光被外部物体反射或散射后馈回激光腔形成单光束自混合干涉,这种干涉信号携载被照射的物体的运动信息,可以用于振动、位移等参数的测量。本文基于该原理设计出对压电陶瓷(PZT)动态特性测量的装置。通过对圆柱形单层和叠片式PZT样品测试,结果表明,利用激光SMI测量PZT特性,实验装置结构简单,可以实现高精度适时检测PZT动态响应和滞回特性。

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来源
《光电子．激光》 |2005年第6期|714-717|共4页
作者
张德辉; 禹延光; 叶会英;
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作者单位

郑州大学信息工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类其他半导体材料;
关键词
PZT; 振动仪; 干涉型; 激光自混合干涉; 应用; 测试技术; 运动信息; 干涉信号; 特性测量; 压电陶瓷; 原理设计; 样品测试; 装置结构; 滞回特性; 动态响应; 单光束; 激光束; 等参数; 叠片式; 圆柱形; SMI; 高精度; 物体; 散射; 分光;

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