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SiC晶片市场动向

         

摘要

正 目前市售SiC材料的最大直径仅为3英寸,而且SiC材料还有缺陷,限制了它在元器件方面的应用。微管缺陷是SiC体材料较大缺陷,它看上去象裂纹。这种微管缺陷限制了晶片的可用有效面积。高功率密度器件要求无微管缺陷的有效面积大,而目前的微管密度只允许SiC

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