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硅片清洗技术的研究进展

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摘要

文章综述了国内外关于硅片清洗技术的研究进展,包括清洗技术的种类、清洗原理、清洗的特点以及清洗的效果.重点介绍了硅片清洗技术中的湿法清洗和干法清洗,并分析了各种清洗工艺的优缺点,讨论了硅片清洗工艺中存在的问题,并提出了进一步发展的方向.

著录项

来源
《科技创新与应用》 |2017年第14期|59-61|共3页
作者
任格格; 丁红旗;
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作者单位

辽宁工程技术大学研究生院材料工程系;

辽宁阜新 123000;

辽宁工程技术大学研究生院材料工程系;

辽宁阜新 123000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类
关键词
硅片; 清洗; 湿法; 干法;

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