纳米机电系统可望成为半导体产业界的重要角色

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据新兴芯片技术领域的专家表示，纳米机电系统（简称NEMS）虽然目前还默默无闻，但在未来可能成为半导体产业界的要角。 Sematech制造联盟新兴技术副总裁RajJammy指出，其中的一个理由是，成熟的MEMS技术已经为各种不同的传感器，在iPhone等新潮电子产品中的应用开拓了庞大新市场，不过MEMS是针对特殊应用的组件，NEMs则能提供整套的潜在应用方案。

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《技术与市场》 |2010年第2期|67|共1页
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闻声;
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