Design and analysis of a MEMS variable capacitor using thermal actuators

Humberto Ochoa; José Mireles; Víctor Hinostroza

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Design and analysis of a MEMS variable capacitor using thermal actuators

机译：使用热执行器的MEMS可变电容器的设计和分析

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We present the design and analysis of a MEMS variable capacitor coupled to thermal actuators. The variable capacitor is composed by two main components: 1) ...

机译：我们介绍了耦合到热执行器的MEMS可变电容器的设计和分析。可变电容器由两个主要部分组成：1）...

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来源
《Computacion y Sistemas》 |2006年第1期|共页
作者
Humberto Ochoa; José Mireles; Víctor Hinostroza;
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正文语种
中图分类应用光学;
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