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【24h】

Integration of Solar Cells on Top of CMOS Chips Part I: a-Si Solar Cells

机译:太阳能电池在CMOS芯片顶部的集成第一部分:非晶硅太阳能电池

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摘要

We present the monolithic integration of deep-submicrometer complementary metal–oxide–semiconductor (CMOS) microchips with a-Si:H solar cells. Solar cells are manufactured directly on the CMOS chips. The microchips maintain comparable electronic performance, and the solar cells show efficiency values above 7%. The yield of photovoltaic cells on planarized CMOS chips is 92%. This integration allows integrated energy harvesting using established process technologies and, as such, is an important step toward wireless autonomous microsystems (i.e., “smart dust”).
机译:我们介绍了深亚微米互补金属-氧化物-半导体(CMOS)微芯片与a-Si:H太阳能电池的单片集成。太阳能电池直接在CMOS芯片上制造。微芯片保持了相当的电子性能,太阳能电池的效率值超过7%。平面化CMOS芯片上光伏电池的产率为92%。这种集成允许使用已建立的处理技术进行集成的能量收集,因此,这是朝着无线自治微系统(即“智能尘埃”)迈出的重要一步。

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