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Data-Based Switching Feedforward Control for Repeating and Varying Tasks: With Application to an Ultraprecision Wafer Stage

机译:基于数据的开关前馈控制,用于重复和变化任务:在超精密晶圆台上的应用

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摘要

In precision motion systems, well-designed feedforward control can effectively compensate for the reference-induced error. Compared to iterative learning control (ILC), data-based fixed-structure feedforward control (DFFC) possesses robustness against ref
机译:在精密运动系统中,精心设计的前馈控制可有效补偿参考引起的误差。与迭代学习控制(ILC)相比,基于数据的固定结构前馈控制(DFFC)具有针对ref的鲁棒性

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