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田芳;
中国电子科技集团公司第二研究所,山西太原030024;
晶圆叠层; 3D封装; 键合;
机译:MEMS市场和技术趋势-使用室温键合的晶圆键合设备:实现支持高效生产的晶圆级封装
机译:适用于CMOS-MEMS和3D晶圆级集成应用的对准式融合晶圆键合
机译:新型重新配置的晶圆对晶圆(W2W)混合键合技术,使用超高密度纳米Cu灯丝进行百亿分之2.5D / 3D集成
机译:TSV集成和晶圆键合技术在微型定时设备的MEMS组件的密封晶圆级封装中的应用
机译:用于芯片互连,晶圆级封装和互连层结构的电镀键合技术。
机译:金膜厚度和表面粗糙度对室温晶圆键合和金-金表面活化键合的晶圆级真空密封的影响
机译:使用结构化玻璃中间层的半导体晶圆键合连接,用于在晶圆级封装表面微机械传感器
机译:可制造的三叠层alsb / Inas HEmT低噪声放大器,采用晶圆级封装技术,适用于轻量级和超低功耗应用
机译:引线键合技术在晶圆凸块,晶圆级芯片级封装结构上的应用及其制造方法
机译:晶圆叠层体以及在设备晶圆和载体晶圆之间进行键合和去键合的方法
机译:发光二极管及晶圆级封装方法,晶圆级键合方法以及晶圆级封装的电路结构
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