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首页> 外文期刊>日本機械学会誌 >完全非接触XY平面位置決めテーブルを用いた微細加工
【24h】

完全非接触XY平面位置決めテーブルを用いた微細加工

机译：使用完美的非接触XY平面定位台进行微加工

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近年，超精密・微細加工に対する要rn求は年々厳しくなり，運動精度向上のrnため位置決めテーブル系を完全非接触rn構造とする超精密加工機も登場してきrnている．しかし非接触構造の採用によrnり無負荷時の運動特性は向上するものrnの，加工力などの外乱に対しては機械rn的拘束および減衰がないため留意するrn必要がある．
机译：近年来，对超精密和微加工的要求越来越严格，并且为了提高运动精度，还出现了具有完全非接触式结构的定位台系统的超精密加工机。然而，尽管采用非接触结构改善了无负载下的运动特性，但必须注意的是，对于诸如机械力的干扰，没有机械约束或阻尼。

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