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首页> 外文期刊>Mechatronics, IEEE/ASME Transactions on >Nonlinear Modeling and Decoupling Control of XY Micropositioning Stages With Piezoelectric Actuators
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Nonlinear Modeling and Decoupling Control of XY Micropositioning Stages With Piezoelectric Actuators

机译：XY微定位平台的压电致动器非线性建模和解耦控制

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In this paper, a modeling method of XY micropositioning stage with piezoelectric actuators is proposed. In the modeling scheme, a sandwich model consists of both input and output linear submodels, and an embedded neural-network-based hysteresis submodel is used to describe the motion behavior of each axis of the stage. Moreover, a neural-network-based submodel is constructed to describe the nonlinear interactive dynamics caused by the movement of another axis. Then, a tracking control scheme combined with a nonlinear decoupling control is proposed to compensate for the effect of the interactions between axes and track the reference trajectory. Then, the robust design method for the tracking and decoupling control is discussed. Finally, the experimental results on an XY micropositioning stage are presented.
机译：本文提出了一种采用压电致动器的XY微定位平台的建模方法。在建模方案中，三明治模型由输入和输出线性子模型组成，并且使用基于神经网络的嵌入式滞后子模型来描述平台每个轴的运动行为。此外，构造了一个基于神经网络的子模型来描述由另一个轴的运动引起的非线性交互动力学。然后，提出了一种结合非线性解耦控制的跟踪控制方案，以补偿轴之间相互作用的影响并跟踪参考轨迹。然后，讨论了用于跟踪和解耦控制的鲁棒设计方法。最后，给出了在XY微定位平台上的实验结果。

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