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Organized porous alumina membranes for high density silicon nanowires growth

机译：用于高密度硅纳米线生长的有序多孔氧化铝膜

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摘要

In this paper, we present results on the fabrication of porous alumina membranes on silicon substrates with a long-range order induced by nanoimprint lithography. Fabricated porous alumina matrices present a perfect triangular array of vertical cylindrical pores on areas of 500 x 500 u.m2 corresponding to the imprinted surfaces. Also, we demonstrate that it is possible to have a directed density multiplication during the pore formation, compared to the nanoimprint mold, by the initial indentation of only one third of the expected alumina pores. The gold catalyst, needed for nanowires growth, is deposited at the bottom of each pore by electrochemistry. The proposed process is scalable to wafer-scale areas, compatible with microelectronics fabrication standards and is not limited to non-fragile substrates like direct bulk aluminum nanoindentation.
机译：在本文中，我们介绍了纳米压印光刻技术在硅衬底上以远距离有序制造多孔氧化铝膜的结果。制成的多孔氧化铝基体在与压印表面相对应的500 x 500 um2的区域上呈现出垂直圆柱孔的完美三角形阵列。而且，我们证明，与纳米压印模具相比，通过仅预期氧化铝孔的三分之一的初始压痕，可以在孔形成过程中进行定向密度倍增。纳米线生长所需的金催化剂通过电化学沉积在每个孔的底部。拟议的工艺可扩展到晶圆级领域，与微电子制造标准兼容，并且不限于非易碎基板，如直接块状铝纳米压痕。

著录项

  • 来源
    《Microelectronic Engineering》 |2011年第9期|p.2844-2847|共4页
  • 作者

    T. Bemardin; L. Dupre; L. Burnier; P. Gentile; D. Peyrade; M. Zelsmann; D. Buttard;

  • 作者单位

    CEA-Crenoble/INAC/SP2M/SiNaPS, 17 rue des martyrs, 38000 Grenoble, France;

    CEA-Crenoble/INAC/SP2M/SiNaPS, 17 rue des martyrs, 38000 Grenoble, France;

    CEA-Crenoble/INAC/SP2M/SiNaPS, 17 rue des martyrs, 38000 Grenoble, France;

    CEA-Crenoble/INAC/SP2M/SiNaPS, 17 rue des martyrs, 38000 Grenoble, France;

    LTM-CNRS c/o CEA-LETl-MINATEC, 17 rue des martyrs, 38000 Grenoble, France;

    LTM-CNRS c/o CEA-LETl-MINATEC, 17 rue des martyrs, 38000 Grenoble, France;

    CEA-Crenoble/INAC/SP2M/SiNaPS, 17 rue des martyrs, 38000 Grenoble, France,Universite Joseph Fourier, Grenobte-1, 38000 Grenoble, France;

  • 收录信息 美国《科学引文索引》(SCI);美国《工程索引》(EI);美国《生物学医学文摘》(MEDLINE);
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
  • 关键词

    porous alumina; nanoimprint lithography; silicon nanowires;

    机译：多孔氧化铝;纳米压印光刻;硅纳米线;

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