摘要：本文介绍一种自由空间无阻塞16×16阵列光开关,其总体结构采用Benes网络,以2×2和4×4光开关为基本单元,构成无阻塞16×16阵列光开关.文章还介绍了光路控制单元、MEMS微电磁执行器和微复合反射镜的结构和制备技术,以及2×2光开关的基本工作原理和性能;主要介绍一种新颖的矩阵式具有光路集成结构的4×4光开关的设计及其组装技术,其具有体积小、集成度高、性能高、无阻塞和高可靠性等特点,是构成16×16阵列光开关的关键单元;通过采用图论理论对传统的Benes网络结构进行分析,提出一种优化的无阻塞16×16Benes网络结构,其中的交换单元数量减少了7个,并介绍实现光路交换无阻塞的快速算法.本文介绍的基于M0EMS无阻塞16×16阵列光开关的开关时间小于10ms,插入损耗小于4dB,均匀性小于1dB,回波损耗小于-50dB,串扰小于-70dB,具有无阻塞特性.
