摘要:碳纳米管自从1991年lijima发现碳纳米管以来,由于其具有的化学稳定性、高热导率、良好力学性能、高的长径比等特性,是优良的场致发射材料。本文研究了微波等离子体化学气相沉积 (microwaveplasma chemical vapor deposition,MWPCVD)法实现定点制备碳纳米管的工艺,并在扫描阳极场致发射显微镜(Scanning anode field emission microscopy,SAFEM)下对场致发射阵列进行了场致发射特性扫描测试,并对不同工艺参数下场致发射特性进行了分析讨论。