掌桥科研
一站式科研服务平台
科技查新
收录引用
专题文献检索
外文数据库(机构版)
更多产品
首页
成为会员
我要充值
退出
我的积分:
中文会员
开通
中文文献批量获取
外文会员
开通
外文文献批量获取
我的订单
会员中心
我的包量
我的余额
登录/注册
文献导航
中文期刊
>
中文会议
>
中文学位
>
中国专利
>
外文期刊
>
外文会议
>
外文学位
>
外国专利
>
外文OA文献
>
外文科技报告
>
中文图书
>
外文图书
>
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
美国国防部AD报告
美国能源部DE报告
美国航空航天局NASA报告
美国商务部PB报告
外军国防科技报告
美国国防部
美国参联会主席指示
美国海军
美国空军
美国陆军
美国海军陆战队
美国国防技术信息中心(DTIC)
美军标
美国航空航天局(NASA)
战略与国际研究中心
美国国土安全数字图书馆
美国科学研究出版社
兰德公司
美国政府问责局
香港科技大学图书馆
美国海军研究生院图书馆
OALIB数据库
在线学术档案数据库
数字空间系统
剑桥大学机构知识库
欧洲核子研究中心机构库
美国密西根大学论文库
美国政府出版局(GPO)
加利福尼亚大学数字图书馆
美国国家学术出版社
美国国防大学出版社
美国能源部文献库
美国国防高级研究计划局
美国陆军协会
美国陆军研究实验室
英国空军
美国国家科学基金会
美国战略与国际研究中心-导弹威胁网
美国科学与国际安全研究所
法国国际关系战略研究院
法国国际关系研究所
国际宇航联合会
美国防务日报
国会研究处
美国海运司令部
北约
盟军快速反应部队
北约浅水行动卓越中心
北约盟军地面部队司令部
北约通信信息局
北约稳定政策卓越中心
美国国会研究服务处
美国国防预算办公室
美国陆军技术手册
一般OA
科技期刊论文
科技会议论文
图书
科技报告
科技专著
标准
其它
美国卫生研究院文献
分子生物学
神经科学
药学
外科
临床神经病学
肿瘤学
细胞生物学
遗传学
公共卫生&环境&职业病
应用微生物学
全科医学
免疫学
动物学
精神病学
兽医学
心血管
放射&核医学&医学影像学
儿科
医学进展
微生物学
护理学
生物学
牙科&口腔外科
毒理学
生理学
医院管理
妇产科学
病理学
生化技术
胃肠&肝脏病学
运动科学
心理学
营养学
血液学
泌尿科学&肾病学
生物医学工程
感染病
生物物理学
矫形
外周血管病
药物化学
皮肤病学
康复学
眼科学
行为科学
呼吸学
进化生物学
老年医学
耳鼻喉科学
发育生物学
寄生虫学
病毒学
医学实验室检查技术
生殖生物学
风湿病学
麻醉学
危重病护理
生物材料
移植
医学情报
其他学科
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
主题
主题
题名
作者
关键词
摘要
高级搜索 >
外文期刊
外文会议
外文学位
外国专利
外文图书
外文OA文献
中文期刊
中文会议
中文学位
中国专利
中文图书
外文科技报告
清除
历史搜索
清空历史
首页
>
外文会议
>
电子学、通信
>
Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)
Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)
召开年:
召开地:
出版时间:
-
会议文集:
-
会议论文
热门论文
全部论文
相关中文期刊
通信管理与技术
音响世界
通信世界
数字家庭
中国无线通信
世界专业音响与灯光
电讯技术
卫星与网络
互联网天地
通讯世界
更多>>
相关外文期刊
Elektronikpraxis
Network Technology Report
Electronics & Communications in Japan. 1
Wireless LAN
O Plus E
Electronics Today
映像情報メディア学会誌
ETRI journal
Advanced Functional Materials
Electrical Engineers, Journal of the Institution of
更多>>
相关中文会议
第四届中国高校电力电子与电力传动学术年会
2014信息通信网技术业务发展研讨会
2007年中国数字电视与网络发展高峰论坛暨第十五届全国有线电视综合信息网学术研讨会
中国CDMA移动通信网络优化研讨会
2004年雷达信息产业发展战略研讨会
2010中国高端SMT学术会议
2000'IGBT模块应用技术研讨会
'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
中国通信学会2004年光缆电缆学术年会
第十五届海峡两岸无线电技术研讨会
更多>>
相关外文会议
Image and Video Communications and Processing 2000
2010 Ninth International Conference on Mobile Business and 2010 Ninth Global Mobility Roundtable
Second Conference on Photonics for Transportation, Oct 15-19, 2001, Sochy, Russia
Conference on Nanomodeling; 20040802-20040803; Denver,CO; US
Laser Source Technology for Defense and Security III; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6552
Organic light emitting materials and devices XX
International Loran Association (ILA) 33rd annual convention and technical symposium
Laser-based micro- and nanoprocessing XI
International radar symposium(IRS 2003) : Proceedings
Conference on Reconfigurable Technology: FPGAs and Reconfigurable Processors for Computing and Communications Ⅳ, Jul 30, 2002, Boston, USA
更多>>
热门会议
Meeting of the internet engineering task force;IETF
日本建築学会;日本建築学会大会
日本建築学会(Architectural Institute of Japan);日本建築学会年度大会
日本建築学会学術講演会;日本建築学会
日本建築学会2010年度大会(北陸)
Korean Society of Noise & Vibration Control;Institute of Noise Control Engineering;International congress and exposition on noise control engineering;ASME Noise Control & Acoustics Division
土木学会;土木学会全国大会年次学術講演会
応用物理学会秋季学術講演会;応用物理学会
総合大会;電子情報通信学会
The 4th International Conference on Wireless Communications, Networking and Mobile Computing(第四届IEEE无线通信、网络技术及移动计算国际会议)论文集
更多>>
最新会议
2011 IEEE Cool Chips XIV
International workshop on Java technologies for real-time and embedded systems
Supercomputing '88. [Vol.1]. Proceedings.
RILEM Proceedings PRO 40; International RILEM Conference on the Use of Recycled Materials in Buildings and Structures vol.1; 20041108-11; Barcelona(ES)
International Workshop on Hybrid Metaheuristics(HM 2007); 20071008-09; Dortmund(DE)
The 57th ARFTG(Automatic RF Techniques Group) Conference, May 25, 2001, Phoenix, AZ
Real Time Systems Symposium, 1989., Proceedings.
Conference on Chemical and Biological Sensing V; 20040412-20040413; Orlando,FL; US
American Filtration and Separations Society conference
Combined structures congress;North American steel construction conference;NASCC
更多>>
全选(
0
)
清除
导出
1.
Liquid-filled varifocal lens on a chip
机译:
芯片上的液体填充变焦镜头
作者:
Seung Tae Choi
;
Jeong Yub Lee
;
Jong Oh Kwon
;
Seungwan Lee
;
Woonbae Kim
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
variable focus lens;
auto focus;
electroactive polymer;
micro fluidics;
micro imaging system;
2.
Feedback Stabilized Deformable Membrane Mirrors for Focus Control
机译:
反馈稳定的可变形膜反射镜,用于聚焦控制
作者:
Sarah J. Lukes
;
Phillip A. Himmer
;
Eric J. Moog
;
Steven R. Shaw
;
David L. Dickensheets
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MEMS;
membrane mirror;
snap-down;
pull-in;
feedback control;
closed loop;
snapdown;
3.
New astronomical instrument using MOEMS-based programmable diffraction gratings
机译:
使用基于MOEMS的可编程衍射光栅的新型天文仪器
作者:
Frederic Zamkotsian
;
Patrick Lanzoni
;
Thierry Viard
;
Christophe Buisset
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
programmable grating;
MOEMS;
programmable spectrometer;
darwin mission;
astronomical instrumentation;
4.
Addressable microshutter array for a high-performance infrared miniature dispersive spectrometer
机译:
用于高性能红外微型色散光谱仪的可寻址微快门阵列
作者:
S. Ilias
;
F. Picard
;
C. Larouche
;
R. Kruzelecky
;
W. Jamroz
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MEMS;
microshutter;
zipping actuator;
microslit;
electrostatic actuation;
dynamic response;
miniature spectrometer;
5.
Nanosatellite distributed far infrared radiometers
机译:
纳米卫星分布式远红外辐射仪
作者:
L. Ngo Phong
;
F. Chateauneuf
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
far infrared;
microbolometer;
radiometer;
nanosatellite;
6.
Advanced Microbolometer detectors for a next generation uncooled FPA for space-based thermal remote sensing
机译:
用于下一代非制冷FPA的高级Microbolometer检测器,用于天基热遥感
作者:
Fraser Williamson
;
Linda Marchese
;
Georges Baldenberger
;
Francois Chateauneuf
;
Francis Provencal
;
Jean-Sol Caron
;
Fabien Dupont
;
Jocelyne Osouf
;
Patrick Couture
;
Linh Ngo Phong
;
Tim Pope
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
microbolometer;
focal plane array;
thermal remote sensing;
7.
Fine-pitch, high efficiency spatial optical modulator for mobile display applications
机译:
适用于移动显示应用的小间距,高效空间光学调制器
作者:
Jong Hyeong Song
;
Sang Kyeong Yun
;
Hee Yeoun Kim
;
Seungdo An
;
Heung Woo Park
;
Yoon Joon Choi
;
Victor Yurlov
;
Anatoliy Lapchuk
;
Chung Mo Yang
;
Sung Jun Lee
;
Jae Wook Jang
;
Ki Un Lee
;
Ki Suk Woo
;
El M. Bourim
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
laser projection display;
spatial light modulator;
diffraction gratings;
piezoelectric;
micro-actuators;
SOM;
8.
Miniaturized UV/VIS Spectrometer made by MOEMS technology
机译:
由MOEMS技术制成的小型UV / VIS光谱仪
作者:
Katsumi Shibayama
;
Takafumi Yokino
;
Katsuro Hikita
;
Norihiro Iwasaki
;
Helmut Teichmann
;
Ulrich Staerker
;
Flavio DiPrima
;
Koei Yamamoto
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
spectrometer;
UV/VIS;
MOEMS;
MEMS;
nano-imprint;
grating;
9.
Advances in SLM Development for Microlithography
机译:
微光刻SLM开发的进展
作者:
Ulrike Dauderstaedt
;
Per Askebjer
;
Peter Bjoernaengen
;
Peter Duerr
;
Martin Friedrichs
;
Matthias List
;
Dirk Rudloff
;
Jan-Uwe Schmidt
;
Michael Mueller
;
Michael Wagner
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
optical MEMS;
spatial light modulator;
DUV;
microlithography;
10.
Linear micromirror array for broadband femtosecond pulse shaping in phase and amplitude
机译:
用于宽带飞秒脉冲整形的相位和幅度线性微镜阵列
作者:
Stefan M. Weber
;
Severin Waldis
;
Wilfried Noell
;
Denis Kiselev
;
Jerome Extermann
;
Luigi Bonacina
;
Jean-Pierre Wolf
;
Nico F. de Rooij
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
micromirrors;
UV-NIR femtosecond laser pulse shaping;
vertical comb drives;
timed DRIE;
11.
Micro-interferometer with high throughput for remote sensing
机译:
高通量微干涉仪,用于遥感
作者:
Alan Scott
;
Miroslaw Florjanczyk
;
Pavel Cheben
;
Siegfried Janz
;
Brian Solheim
;
Dan-Xia Xu
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
spectrometers;
waveguides;
fourier spectroscopy;
remote sensing;
12.
The high versatility of silicon based micro-optical modulators
机译:
硅基微光学调制器的多功能性
作者:
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
MEMS;
micro mirror;
spatial light modulator;
display;
imaging;
microlithography;
adaptive optics;
13.
Thermally-actuated micro-shutter for MOEMS applications
机译:
适用于MOEMS应用的热驱动微快门
作者:
Derrick Langley
;
La Vern A. Starman
;
Ronald A. Coutu Jr.
;
Stanley Rogers
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
optical shutters;
actuators;
electrostatics;
thermal actuation;
14.
Fabrication of 3D Comb Drive Microscanners by mechanically induced permanent Displacement
机译:
机械感应永久位移制造3D梳状驱动微扫描仪
作者:
D. Jung
;
D. Kallweit
;
T. Sandner
;
H. Conrad
;
H. Schenk
;
H. Lakner
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
microscanner;
vertical comb drive;
AVC;
SVC;
quasi static scanning;
solid body mechanism;
w2w bonding;
15.
Silicon oxynitride-based integrated optical switch
机译:
基于氧氮化硅的集成光开关
作者:
G. Rehder
;
M. Stochero
;
M. I. Alayo
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
optical switches;
silicon oxynitride waveguides;
PECVD materials;
16.
Fabrication of large-scale mono-crystalline silicon micro-mirror arrays using adhesive wafer transfer bonding
机译:
使用粘合剂晶圆转移键合制造大规模单晶硅微镜阵列
作者:
Fabian Zimmer
;
Frank Niklaus
;
Martin Lapisa
;
Thomas Ludewig
;
Martin Bring
;
Martin Friedrichs
;
Thor Bakke
;
Harald Schenk
;
Wouter van der Wijngaart
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
optical MEMS;
micro mirrors;
spatial light modulator;
adhesive bonding;
17.
Large area transmissive modulator for a remotely-interrogated MEMS-based optical tag
机译:
大范围透射调制器,用于基于MEMS的光学标签的远程询问
作者:
Mark E McNie
;
Andrew M Scott
;
Nicola Price
;
David J Combes
;
Gilbert W Smith
;
Kevin D Ridley
;
Kevin M Branson
;
David C Jones
;
Keith L Lewis
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS);
infra red (IR);
optical tag;
modulator;
interference;
silicon;
micro-electromechanical systems (MEMS);
laser;
18.
Design and fabrication of a MEMS mirror for Miniature Laser Projection
机译:
用于微型激光投影的MEMS反射镜的设计与制造
作者:
Rene Sanders
;
Diederik van Lierop
;
Boudewijn de Jong
;
Herman Soemers
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MEMS mirror;
laser display;
pocket projector;
19.
Scanning Photon Microscope based on a MEMS 2d Scanner Mirror
机译:
基于MEMS 2d扫描镜的扫描光子显微镜
作者:
Heinrich Grueger
;
Jens Knobbe
;
Thomas Egloff
;
Marc Althaus
;
Michael Scholles
;
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
scanning photon microscope;
laser scanning microscope;
scanner mirror;
fluorescence;
RAMAN;
CARS;
20.
Hybrid microtransmitter for free-space optical spacecraft communication - design, manufacturing and characterization
机译:
用于自由空间光学航天器通信的混合微发射机-设计,制造和特性
作者:
Sara Lotfi
;
Kristoffer Palmer
;
Henrik Kratz
;
Greger Thornell
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
free space optical communication;
SU-8;
v-grooves;
fresnel lens;
VCSEL;
link budget;
Pyrex 7740;
21.
Large micromirror array for multi-object spectroscopy in cryogenic environment
机译:
低温环境下用于多目标光谱的大型微镜阵列
作者:
Michael Canonica
;
Severin Waldis
;
Frederic Zamkotsian
;
Patrick Lanzoni
;
Pierre-Andre Clerc
;
Wilfried Noell
;
Nico de Rooij
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
micromirror;
mirror;
array;
multi-object spectrograph;
MOEMS;
22.
MEMS for pico- to micro-satellites
机译:
微微卫星微机电系统
作者:
H.R. Shea
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MEMS;
spacecraft;
satellites;
nanosatellites;
cubesats;
space;
23.
Integrated Incandescent Microlamp Coupled to SiO_xN_y Waveguide
机译:
集成到SiO_xN_y波导的白炽灯微型灯
作者:
D. O. Carvalho
;
M. N. P. Carreno
;
G. P. Rehder
;
M. I. Alayo
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
integrated optics;
optical waveguide;
thermal-actuated cantilevers;
plasma CVD;
silicon oxynitride;
24.
Empirical analysis of form drag damping for scanning micromirrors
机译:
用于扫描微镜的形变阻尼阻尼的实证分析
作者:
Wyatt O. Davis
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
nonlinear damping;
air drag;
drag coefficient;
scanning mirror;
quality factor;
25.
MEMS ANALYZER FOR FAST DETERMINATION OF MIXED GASES
机译:
用于混合气体快速测定的MEMS分析仪
作者:
Thomas Otto
;
Ray Saupe
;
Alexander Weiss
;
Volker Stock
;
Oliver Throl
;
Wulf Graehlert
;
Stefan Kaskel
;
Holger Schreck
;
Thomas Gessner
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MEMS;
NIR spectroscopy;
gas measurement;
process control;
26.
Microassembly of Three-Dimensional Rotary MEMS Mirrors
机译:
三维旋转MEMS镜的微装配
作者:
Lidai Wang
;
James K. Mills
;
William L. Cleghora
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
micro-mirror;
microassembly;
micromanipulation;
adhesive mechanical fastener;
Micro-Electromechanical Systems (MEMS);
27.
APPLICATION OF Si LED's (450nm-750nm) IN CMOS INTEGRATED CIRCUITRY BASED MOEMS - SIMULATION AND ANALYSIS
机译:
Si LED(450nm-750nm)在基于CMOS集成电路的器件中的应用-仿真与分析
作者:
Lukas W. Snyman
;
Kingsley A. Ogudo
;
Monuko du Plessis
;
Gustave Udahemuka
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
silicon;
light emitting device;
opto-electronic integrated circuits;
CMOS technology;
Si CMOS structure;
optical simulation;
Monte Carlo;
objects based modeling;
28.
Novel MWIR microspectrometer based on a tunable detector
机译:
基于可调检测器的新型MWIR显微光谱仪
作者:
Norbert Neumann
;
Martin Ebermann
;
Steffen Kurth
;
Karla Hiller
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
fabry-perot interferometer;
MWIR microspectrometer;
tunable infrared detector;
29.
Integrated position sensing for 2D microscanning mirrors using the SOI-device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer
机译:
使用SOI器件层作为压阻机械弹性变压器的2D微扫描镜的集成位置感测
作者:
Jan Grahmann
;
Holger Conrad
;
Thilo Sandner
;
Thomas Klose
;
Harald Schenk
会议名称:
《Conference on MOEMS and miniaturized systems VIII; 20090127-28; San Jose, CA(US)》
|
2009年
关键词:
MOEMS;
scanning micromirror;
piezoresistive;
position sensor;
angular sensor;
optical SOI-MEMS;
意见反馈
回到顶部
回到首页