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Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology
Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology
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1.
High aspect ratio plasma etching of bulk Lead Zirconate Titanate
机译:
散粒锆钛酸铅的高纵横比等离子体蚀刻
作者:
Srimath S. Subasinghe
;
Abhijat Goyal
;
Srinivas A. Tadigadapa
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
anisotropic etching;
dry etching;
inductively coupled plasma;
reactive ion etching (RIE);
micro electro mechanical systems (MEMS);
lead zirconate titanate (PZT);
ceramic;
bulk micromachining;
2.
Mechanical gripper system for handling and assembly in MEMS
机译:
MEMS处理和组装机械夹具系统
作者:
Petrovic D.
;
Popovic G.
;
Chatzitheodoridis E.
;
Del Medico O.
;
Almansa A.
;
Detter H.
;
Brenner W
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2001年
关键词:
Handling;
Assembly;
Gripper;
MST;
MEMS;
Microparts;
Electro-discharge-machining;
EDM;
3.
Etching rate control of mask material for XeF{sub}2 etching using UV exposure
机译:
使用UV曝光蚀刻XEF {Sub} 2蚀刻的掩模材料蚀刻速率控制
作者:
Koji Sugano
;
Osamu Tabata
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2001年
4.
Mechanism of enzyme-etching dichromated gelatin
机译:
酶蚀刻二色素的机理
作者:
Hongbo Li
;
Xiaoyang Huang
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2001年
关键词:
Microlens array;
Enzyme solution;
Ammonium dichromated gelatin;
5.
Improved microwave performance on low-resistivity Si substrates by introducing an oxidized porous Si interlayer
机译:
通过引入氧化多孔Si中间层来改善低电阻率Si衬底上的微波性能
作者:
Ziqiang Zhu
;
Yanling Shi
;
Yongfu Long
;
Peisheng Xin
;
Zongsheng Lai
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2001年
关键词:
Porous silicon;
Microwave device;
Coplanar waveguide;
Oxidization;
6.
Enhancing filling of interconnect deep trenches using forced convection magneto-electroplating
机译:
使用强制对流磁电镀增强互连深沟的填充
作者:
R. A. Said
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
Interconnect metallization;
magneto-electroplating;
magneto-hydro-dynamics electroplating;
7.
Enhancing filling of interconnect deep trenches using Forced convection magneto-electroplating
机译:
使用强制对流磁电镀增强互连深沟的填充
作者:
R.A. Said
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
interconnect metallization;
magneto-electroplating;
magneto-hydro-dynamics electroplating;
8.
Combined low-coherence interferometry and spectrally resolved reflectometry for nondestructive characterization of small-diameter high-aspect ratio micro-fabricated and micro- machined structures, and multilayer membranes
机译:
结合低相干干涉测量和光谱分辨反射测缝,用于小直径高纵横比微型制造和微机械结构的非破坏性表征,以及多层膜
作者:
Wojciech J. Walecki
;
Talal Azfar
;
Alexander Pravdivstev
;
Manuel Santos II
;
Ann Koo
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
interferometer;
metrology;
thin film;
pressure sensor;
9.
Combined low-coherence interferometry and spectrally resolved reflectometry for nondestructive characterization of small-diameter high-aspect ratio micro-fabricated and micro-machined structures and multilayer membranes
机译:
结合低相干干涉测量和光谱分辨反射测缝,用于非直径高纵横比微型制造和微机械结构和多层膜的非破坏性表征
作者:
Wojciech J. Walecki
;
Talal Azfar
;
Alexander Pravdivstev
;
Manuel Santos II
;
Ann Koo
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
Interferometer;
Metrology;
Thin Film;
Pressure sensor;
10.
Fabrication of integrated tight guiding plate for backlight system
机译:
用于背光系统的集成闭式引导板的制造
作者:
Chao Heng Chien
;
Zhi Peng Chen
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
hot embossing;
MEMS;
11.
Anisotropic etching of single crystalline SiC using molten KOH for SiC bulk micromachining
机译:
使用熔融KOH的单晶SiC的各向异性蚀刻SiC散装微机械
作者:
Katsuhiko Fukunaga
;
Jun Suda
;
Tsunenobu Kimoto
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
Single crystalline;
SiC;
MEMSEamolten KOH;
Al mask;
Anisotropic wet etching;
bulk micromachining;
activation energy;
12.
Anisotropic etching of single crystalline SiC using molten KOH for SiC bulk micromachining
机译:
使用熔融KOH的单晶SiC的各向异性蚀刻SiC散装微机械
作者:
Katsuhiko Fukunaga
;
Jun Suda
;
Tsunenobu Kimoto
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
single crystalline;
SiC;
MEMS;
molten KOH;
Al mask;
anisotropic wet etching;
bulk micromachining;
activation energy;
13.
Process design and tracking support for MEMS
机译:
流程设计和跟踪对MEMS的支持
作者:
A. Wagener
;
T. Schmidt
;
J. Popp K. Hahn
;
R. Bruck
;
D. Ortloff
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
TCAD;
MEMS;
process management;
process design;
process tracking;
14.
Fabrication of integrated light guiding plate for backlight system
机译:
用于背光系统的集成光导板的制造
作者:
Chao Heng Chien
;
Zhi Peng Chen
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
Hot embossing;
MEMS;
15.
Process Design and Tracking Support for MEMS
机译:
流程设计和跟踪对MEMS的支持
作者:
A. Wagener
;
T. Schmidt
;
J. Popp
;
K. Hahn
;
R. Brueck
;
D. Ortloff
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
TCAD;
MEMS;
process management;
process design;
process tracking;
16.
Development of fabrication techniques for high-density integrated MIM capacitors in power conversion equipment
机译:
电力转换设备中高密度集成MIM电容器制造技术的开发
作者:
M. Brunet
;
P. Dubreuil
;
E. Scheid
;
J-L. Sanchez
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
DRIE;
integrated capacitor;
MIM;
high aspect ratio trenches;
high capacitance density;
17.
Development of fabrication techniques for high-density integrated MIM capacitors in power conversion equipment
机译:
电力转换设备中高密度集成MIM电容器制造技术的开发
作者:
M. Brunet
;
P. Dubreuil
;
E. Scheid
;
J-L. Sanchez
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
DRIE;
integrated capacitor;
MIM;
high aspect ratio trenches;
high capacitance density;
18.
Laser beam shaping for micromaterial processing using a liquid crystal display
机译:
使用液晶显示器进行微材料的激光束整形
作者:
U. Klug
;
M. Boyle
;
F. Friederich
;
R. Kling
;
A. Ostendorf
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
beam shaping;
spatial light modulator;
phase-only;
liquid crystal on silicon;
micromachining;
19.
A novel fabrication Technology for anti-reflex Wafer-Level Vacuum packaged microscanning Mirrors
机译:
一种用于防反射晶片级真空包装微观镜镜的新型制造技术
作者:
M. Oldsen
;
U. Hofmann
;
H.J. Quenzer
;
J. Janes
;
C. Stolte
;
K. Gruber
;
M. Ites
;
F. Soerensen
;
B. Wagner
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
microscanning mirrors;
vacuum;
wafer-level packaging;
high Q-factor;
anti-reflex;
20.
Micro-inductors integrated on silicon for dc-dc converters
机译:
用于DC-DC转换器的硅片上的微电感器
作者:
T.El Mastouli
;
J.P Laur
;
J.L Sanchez
;
M. Brunet
;
D. Bourrier
;
M. Dilhan
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
integrated inductor;
spiral;
electroplating;
CoNiFe;
CMP;
DC-DC converters;
21.
TCAD Tool for Innovative MEMS and MOEMS An All-in-One Solution
机译:
TCAD工具,用于创新MEMS和MOEMS的一体化解决方案
作者:
U. Triltsch
;
S. Buttgenbach
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
microsystem design;
behavioral modeling;
component design;
process simulation;
building blocks;
etch simulator;
process model;
22.
Dry film process development for electroplating and lift-off of metal layers
机译:
用于电镀和剥离金属层的干膜工艺开发
作者:
Phaninder R. Kanikella
;
Matthew J. OKeefe
;
Chang-Soo Kim
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
dry film photoresist;
sidewall;
lift-off;
electroplating;
23.
Micromachining of a fiber-to-waveguide coupler using grayscale lithography and through-wafer etch
机译:
使用灰度光刻和晶圆蚀刻的光纤与波导耦合器的微机器
作者:
Thomas Dillon
;
Mathew Zablocki
;
Shouyan Shi
;
Janusz Murakowski
;
Dennis Prather
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
silicon photonics;
fiber coupler;
HEBS glass;
grayscale lithography;
DRIE;
24.
Fabrication of integrated channel waveguides in polydimethylsiloxane (PDMS) using proton beam writing (PBW): Applications for fluorescence detection in microfluidic channels
机译:
使用质子束写入(PBW)制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)中的集成通道波导:微流体通道中的荧光检测应用
作者:
C. N. B. Udalagama
;
S. F. Chan
;
S. Homhuan
;
A. A. Bettiol
;
T. Wohland
;
F. Watt
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
polydimethylsiloxane;
PDMS;
proton beam writing;
biophotonic chip;
buried waveguides;
fluorescence detection;
25.
Sensitivity and stress effects of composite membranes with micro/macro porous silicon for pressure sensor applications
机译:
复合膜与微/宏多孔硅进行压力传感器应用的敏感性和应力影响
作者:
L. Sujatha
;
Enakshi Bhattacharya
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
MEMS;
pressure sensor;
porous silicon;
porosity;
stress;
membrane;
young's modulus;
sensitivity;
26.
Electrodeposition of Au for Self-Assembling 3D Micro-Structures
机译:
AU电码沉积自组装3D微结构
作者:
M. E. Kiziroglou
;
A. Goswami Mukherjee
;
R. W. Moseley
;
P. Taylor
;
S. Pranonsatit
;
A. S. Holmes
;
E. M. Yeatman
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
inductors;
MEMS;
self-assembly;
3D;
27.
Microstereolithography production of integrated Hadamard mask structures
机译:
MicrostereRestographics生产集成的Hadamard掩模结构
作者:
Christopher J. Robinson
;
Larinn M. Southwell
;
Jeremy A. Palmer
;
Mark W. Smith
;
Michael B. Sinclair
;
Bart D. Chavez
;
Brent E. Stucker
;
Francisco Medina
;
Ryan B. Wicker
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
aperture mask;
hadamard spectrometer;
microstereolithography;
28.
5~10 GHz surface acoustic wave resonators and low-loss wide band filters using submicron fabrication technology
机译:
使用亚微米制造技术5〜10 GHz表面声波谐振器和低损耗宽带滤波器
作者:
K. Yamanouchi
;
Y Satoh
;
H.Isono
;
D.Kawasaki
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
surface acoustic wave;
interdigital transducer;
SAW resonator;
ladder type filter;
nano-technology;
5~10GHz low loss filter;
29.
5~10 GHz surface acoustic wave resonators and low-loss wide band filters using submicron fabrication technology
机译:
使用亚微米制造技术5〜10 GHz表面声波谐振器和低损耗宽带滤波器
作者:
K. Yamanouchi
;
Y. Satoh
;
H. Isono
;
D. Kawasaki
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
surface acoustic wave;
interdigital transducer;
SAW resonator;
ladder type filter;
nano-technology;
5-10Hz low loss filter;
30.
Microstereolithography production of integrated Hadamard mask structures
机译:
MicrostereRestographics生产集成的Hadamard掩模结构
作者:
Christopher J. Robinson
;
Larinn M. Southwell
;
Jeremy A. Palmer
;
Mark W. Smith
;
Michael B. Sinclair
;
Bart D. Chavez
;
Brent E. Stucker
;
Francisco Medina
;
Francisco Medina
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
Aperture mask;
Hadamard spectrometer;
microstereolithography;
31.
A curled-hinge comb micro-mirror using CMOS-MEMS process
机译:
使用CMOS-MEMS过程的卷曲铰链梳理微镜
作者:
Y. R. Huang
;
H. M. Tai
;
H. P. Chou
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
Micro-Mirror;
CMOS-MEMS;
Curled-Hinge comb;
32.
A Curled-Hinge Comb Micro-Mirror Using CMO-MEMS Process
机译:
使用CMO-MEMS过程的卷曲铰链梳理微镜
作者:
Y. R. Huang
;
H. M. Tai
;
H. P. Chou
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
micro-mirror;
CMOS-MEMS;
curled-hinge comb;
33.
Ni-electroplating of double-width micro-cantilever
机译:
双宽度微悬臂的Ni电镀
作者:
Yifang Liu
;
Daoheng Sun
;
Mingliang Wang
;
WenLong Lv
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
double-width Cantilever beam;
Micro-electroplating;
Pulsed current;
34.
Fabrication of three-dimensional near-IR photonic crystals using deep-UV contact photolithography and silicon micromachining
机译:
使用深紫外接触光刻和硅微机械制造三维近红外光子晶体
作者:
Bhargav S. Citla
;
Sriram Venkataraman
;
Janusz Murakowski
;
Garrett J. Schneider
;
Dennis W. Prather
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
three-dimensional Photonic crystals;
silicon micromaching;
nano-photonics;
nano-fabrication;
35.
Ni-electroplating of double-width micro-cantilever
机译:
双宽度微悬臂的Ni电镀
作者:
Yifang Liu
;
Daoheng Sun
;
Mingliang Wang
;
WenLong Lv
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
double-width;
cantilever beam. micro-electroplating;
pulsed current;
36.
Fabrication of three-dimensional near-IR photonic crystals using deep- UV contact photolithography and silicon micromachining
机译:
使用深紫外接触光刻和硅微加工的三维近红外光子晶体的制造
作者:
Bhargav S. Citla
;
Sriram Venkataraman
;
Janusz Murakowski
;
Garrett J. Schneider
;
Dennis W. Prather
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
three-dimensional photonic crystals;
silicon micromaching;
nano-photonics;
nano-fabrication;
37.
Assembled Fourier transform micro-spectrometer
机译:
组装傅里叶变换微光谱仪
作者:
Jeongsik Sin
;
Woo Ho Lee
;
Dan Popa
;
Harry E. Stephanou
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
38.
Advancing three-dimensional MEMS by complimentary laser micro manufacturing
机译:
通过互联激光微型制造推进三维MEMS
作者:
Jeremy A. Palmer
;
Jeremy A. Palmer
;
Tom Lemp
;
Tom M. Lehecka
;
Francisco Medina
;
Ryan B. Wicker
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
Femtosecon laser;
LIGA;
micro stereolithography;
39.
A polymer-based Fabry-Perot filter integrated with 3-D MEMS structures
机译:
基于聚合物的Fabry-Perot滤波器与3-D MEMS结构集成
作者:
Ping (Cerina) Zhang
;
Kevin Le
;
Smitha Malalur-Nagaraja-Rao
;
Lun-Chen Hsu
;
J.-C. Chiao
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
polymer;
absorption;
filter;
MOEM;
MEMS;
40.
A Polymer-based Fabry-Perot Filter Integrated with 3-D MEMS Structures
机译:
基于聚合物的Fabry-Perot滤波器与3-D MEMS结构集成
作者:
Ping (Cerina) Zhang
;
Kevin Le
;
Smitha Malalur-Nagaraja-Rao
;
Lun-Chen Hsu
;
J.-C. Chiao
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
polymer;
absorption;
filter;
MOEM;
MEMS;
41.
Investigation on overplating high-aspect-ratio microstructure
机译:
超高纵横比微观结构的研究
作者:
Yuhua Guo
;
Gang Liu
;
Yangchao Tian
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
LIGA;
electroplating;
simulation;
microstructure;
42.
Advancing three-dimensional MEMS by complimentary laser micro manufacturing
机译:
通过互联激光微型制造推进三维MEMS
作者:
Jeremy A. Palmer
;
John D. Williams
;
Tom Lemp
;
Tom M. Lehecka
;
Francisco Medina
;
Ryan B. Wicker
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
femtosecond laser;
LIGA;
micro stereolithography;
43.
Assembled Fourier Transform Micro-spectrometer
机译:
组装傅里叶变换微光谱仪
作者:
Jeongsik Sin
;
Woo Ho Lee
;
Dan Popa
;
Harry E. Stephanou
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
44.
Investigation on overplating high-aspect-ratio microstructure
机译:
超高纵横比微观结构的研究
作者:
Yuhua Guo
;
Gang Liu
;
Yangchao Tian
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
LIGA;
electroplating;
simulation;
microstructure;
45.
Aspect ratios, sizes, and etch rates in photostructurable glass-ceramic
机译:
光伏玻璃 - 陶瓷中的纵横比,尺寸和蚀刻速率
作者:
J. Stillman
;
J. Judy
;
H. Helvajian
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
aspect ratio;
3-D;
PSGC;
foturan;
46.
MEMS Post-Processing of MPW Dies using BSOI Carrier Wafers
机译:
MEMS使用BSO载体晶片的MPW模具后处理
作者:
A. Goswami Mukherjee
;
M. E. Kiziroglou
;
A. S. Holmes
;
E. M. Yeatman
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
MEMS;
CMOS;
DRIE;
BSOI;
die carrier;
47.
Electrical properties of thin epoxy-based polymer layers filled with n-carbon black particles
机译:
填充N-炭黑颗粒的薄环氧基聚合物层的电性能
作者:
Marta Klanjsek Gunde
;
Nina Hauptman
;
Marijan Macek
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
SU8;
carbon black;
nanocomposite;
resistivity;
spin-coating;
photolithography;
48.
Microstructures with rounded concave and sharp-edged convex corners in a single step wet anisotropic etching
机译:
圆形凹凸和锋利的凸角的微结构在单步湿的各向异性蚀刻中
作者:
Prem Pal
;
Kazuo Sato
;
Miguel A. Gosalvez
;
Mitsuhiro Shikida
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
MEMS;
anisotropic etching;
bulk micromachining;
concave corners;
convex corners;
surfactants;
NC-200;
49.
MEMS Reliability - Coming of Age
机译:
MEMS可靠性 - 年龄到来
作者:
Michael R. Douglass
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
MEMS;
MOEMS;
reliability;
FMEA;
accelerated testing;
stress testing;
50.
Advances in the Fabrication of Surface Modified Micro-fluidic Devices in Non - Fluorescing UV Cured Materials
机译:
非荧光UV固化材料中表面改性微流体装置的制备的进展
作者:
M.P.C. Watts
;
N. Cramer
;
R. Sebra
;
H. Simms
;
K. Masters
;
T. Haraldsson
;
K. Anseth
;
C. Bowman
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
51.
Optical analysis of scanning microstereolithography systems
机译:
扫描微溶液刻度系统的光学分析
作者:
Suhas P. Deshmukh
;
Shashikant Dubey
;
P. S. Gandhi
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
Microstereolithography;
Micro-fabrication;
MEMS;
52.
Optical Analysis of Scanning Microstereolithography Systems
机译:
扫描微溶液刻度系统的光学分析
作者:
Suhas P. Deshmukh
;
Shashikant Dubey
;
P. S. Gandhi
;
SPIE-The International Society for Optical Engineering
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2006年
关键词:
microstereolithography;
micro-fabrication;
MEMS;
53.
Three dimensional waveguide fabrication in PMMA using femtosecond laser micromachining system
机译:
使用飞秒激光微机械系统的PMMA三维波导制造
作者:
Nitin Uppal
;
Panos S. Shiakolas
;
Mohsin Rizwan
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
femtosecond laser;
3D waveguides;
PMMA;
self-focusing;
self-trapping;
54.
Parallel Kinematic Mechanism based monolithic XY micro-positioning stage with rotary comb drive actuators
机译:
基于单片XY微定位级与旋转梳式驱动致动器的平行运动机构
作者:
Deepkishore Mukhopadhyay
;
Jingyan Dong
;
Placid M. Ferreira
会议名称:
《Conference on Micromachining and Microfabrication Process Technology》
|
2008年
关键词:
rotary comb drives;
nano positioning;
micro positioning;
silicon-on-insulator;
parallel kinematic mechanism;
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