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机译:使用超临界CO_2开发的可图案化低K电介质
机译:使用超临界CO_2开发的可图案化低K电介质
机译:压力脉动对超临界CO_2中蚀刻后光刻胶剥离低k膜的影响
机译:使用超临界CO2快速修复低k电介质中的等离子体灰分损坏
机译:图案化多孔低k介质的超临界CO_2蚀刻后清洁
机译:用于高级互连的多孔低k电介质的机械可靠性:多孔低k电介质的不稳定性机理及其通过惰性等离子体引发的骨架结构再聚合的介导研究。
机译:用于微和纳米电子应用的低k介电薄膜的热稳定性的宽带介电光谱表征
机译:利用角度分辨光散射在IC器件上的Cu / Low-K互连上具有角度分辨光散射的低k电介质的拉曼信号的增强