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Topography measurements of engineering surfaces with optical scatterometry

机译：用光学散射法测量工程表面的形貌

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Profiles of surfaces processed in lathes can be divided into a periodic and a random roughness component. The periodic component is a functi6n of the tool shape and the feed rate. The random part is caused by machine vibrations. The periodic part is the essential global topographic feature to monitor the process. Using an optimized scattering geometry the model-based evaluation leads to an intensified mapping of the microtopographic surface features. The profile parameters measured with the introduced scattering technique agree well with the values obtained by stylus profiling. In most of the cases a simple Kirchhoff approximation can be used. In comparison to a rigorous treatment with a RCWA analysis the results are equal for both methods. Only in the case where near field contributions influence the scattering the more accurate RCWA method must be taken.
机译：在车床上加工的表面轮廓可以分为周期性和随机粗糙度。周期性成分是刀具形状和进给速度的函数。随机部分是由机器振动引起的。定期部分是监视过程的基本全局地形特征。使用优化的散射几何结构，基于模型的评估会导致微地形表面特征的增强映射。用引入的散射技术测得的轮廓参数与通过测针轮廓分析获得的值非常吻合。在大多数情况下，可以使用简单的基尔霍夫近似。与使用RCWA分析进行严格处理相比，两种方法的结果均相同。仅在近场贡献影响散射的情况下，才必须采用更准确的RCWA方法。

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