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【24h】

Langmuir probe RF plasma compensation using a simulation method

机译：使用模拟方法的Langmuir探针RF等离子体补偿

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The problem of Langmuir probe data deformation due to RF pickup by the probe is treated through a computer simulation method. It is pointed out that proper RF compensations can be obtained by treatment of the Langmuir probe raw data through the use of computer software. It is demonstrated that correct, RF unaffected probe I-V characteristics can be accurately reproduced from the RF contaminated data. This eliminates the need for the use of any filters or other hardware procedures. User friendly matlab based software is presented. The software automatically retrieves the correct RF I-V characteristics for single Langmuir probe data which consequently allows for proper evaluation of plasma parameters such as the plasma electron temperature, electron number density and the electron energy distribution function (EEDF).
机译：通过计算机模拟方法解决了由于探针的射频拾取而导致的朗缪尔探针数据变形的问题。需要指出的是，通过使用计算机软件处理Langmuir探头原始数据，可以获得适当的RF补偿。已证明可以从RF污染数据中准确地再现正确的，不受RF影响的探头I-V特性。这消除了使用任何过滤器或其他硬件过程的需要。介绍了用户友好的基于Matlab的软件。该软件会自动为单个Langmuir探针数据检索正确的RF I-V特性，从而可以正确评估等离子体参数，例如等离子体电子温度，电子数密度和电子能量分布函数（EEDF）。

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