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Method for measuring the refractive index and the thickness of transparent plates with a lateral-shear, wavelength-scanning interferometer

机译:用横向剪切,波长扫描干涉仪测量透明板的折射率和厚度的方法

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摘要

A new method for measuring simultaneously the thickness and the refractive index of a transparent plate is proposed. The method is based on a simple, variable lateral-shear, wavelength-scanning interferometer. To achieve highly accurate measurements of both refractive index n and thickness d we use several means to determine these two quantities. We finely tune a distributed-feedback diode laser light source to introduce a phase shift into the detected signal, whereas we make the sample rotate to produce variable lateral shearing. Phase shifting permits precise determination of the optical thickness, nd, whereas refractive index n is obtained from the retrieved phase of the overall interference signal for all incidence angles.
机译:提出了一种同时测量透明板厚度和折射率的新方法。该方法基于简单的可变横向剪切波长扫描干涉仪。为了实现折射率n和厚度d的高精度测量,我们使用几种方法来确定这两个量。我们微调分布式反馈二极管激光光源,将相移引入到检测到的信号中,同时使样本旋转以产生可变的横向剪切。相移允许精确确定光学厚度nd,而折射率n是从所有入射角的总干涉信号的检索相位中获得的。

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  • 来源
    《Applied optics》 |2003年第19期|共6页
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  • 正文语种 eng
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