Patterned ion beam implantation of Co ions into a SiO _2 thin film via ordered nanoporous alumina masks

Guan W.; Ghatak J.; Peng Y.; Peng N.; Jeynes C.; Inkson B.; M?bus G.

首页> 外文期刊>Nanotechnology >Patterned ion beam implantation of Co ions into a SiO _2 thin film via ordered nanoporous alumina masks

【24h】

Patterned ion beam implantation of Co ions into a SiO _2 thin film via ordered nanoporous alumina masks

机译：通过有序的纳米多孔氧化铝掩模将Co离子图案化的离子束注入SiO _2薄膜

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Spatially patterned ion beam implantation of 190keV Co ~+ ions into a SiO _2 thin film on a Si substrate has been achieved by using nanoporous anodic aluminum oxide with a pore diameter of 125 nm as a mask. The successful synthesis of periodic embedded Co regions using pattern transfer is demonstrated for the first time using cross-sectional (scanning) transmission electron microscopy (TEM) in combination with analytical TEM. Implanted Co regions are found at the correct relative lateral periodicity given by the mask and at a depth of about 120nm.

机译：通过使用孔径为125 nm的纳米多孔阳极氧化铝，在190keV Co〜+离子上进行空间构图的离子束注入到Si衬底上的SiO _2薄膜中。首次使用截面（扫描）透射电子显微镜（TEM）结合分析型TEM证明了利用图案转移成功合成周期性嵌入的Co区域。在掩模给出的正确的相对横向周期性和约120nm的深度处发现了植入的Co区域。

著录项

来源
《Nanotechnology》 |2012年第4期|共4页
作者
Guan W.; Ghatak J.; Peng Y.; Peng N.; Jeynes C.; Inkson B.; M?bus G.;
展开▼
作者单位

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Patterned ion beam implantation of Co ions into a SiO _2 thin film via ordered nanoporous alumina masks [J] . Guan W., Ghatak J., Peng Y., Nanotechnology . 2012,第4期

机译：通过有序的纳米多孔氧化铝掩模将Co离子图案化的离子束注入SiO _2薄膜
2. Nanopatterning by ion implantation through nanoporous alumina masks [J] . Wei Guan, Ian M. Ross, Umananda M. Bhatta Physical chemistry chemical physics: PCCP . 2013,第12期

机译：通过纳米多孔氧化铝掩模的离子注入进行纳米构图
3. Controlled Patterning of Plasmonic Dimers by Using an Ultrathin Nanoporous Alumina Membrane as a Shadow Mask [J] . Hao Qi, Huang Hao, Fang Xingce, ACS applied materials & interfaces . 2017,第41期

机译：通过使用超薄纳米多孔氧化铝膜作为荫罩控制等离子体二聚体的图案化
4. Optical modulation of nanoporous alumina anodic oxide thin film on sapphire by the superparamagnetic from nano patterns upon [C] . Liu H. H., Weng W.P., Wang J.C., Proceedings of the 2011 6th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems . 2011

机译：蓝宝石表面纳米图案的超顺磁性对蓝宝石上纳米多孔氧化铝阳极氧化物薄膜的光调制。
5. Deposition and Characterization of Thin Alumina Films Grown by Electron Beam Evaporation. [D] . Muhammed, Harun. 2011

机译：电子束蒸发生长的氧化铝薄膜的沉积和表征。
6. Fabrication of phase masks from amorphous carbon thin films for electron-beam shaping [O] . Lukas Grünewald, Dagmar Gerthsen, Simon Hettler 2019

机译：由非晶碳薄膜制造用于电子束成形的相位掩模
7. Implantation temperature effects on the nanoscale optical pattern fabrication in a-SiC:H films by Ga+ focused ion beams [O] . Tsvetkova, T, Wright, CD, Hosseini, P, 2013

机译：Ga +聚焦离子束注入温度对a-SiC：H薄膜中纳米级光学图案制备的影响

Patterned ion beam implantation of Co ions into a SiO _2 thin film via ordered nanoporous alumina masks

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅