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Investigation of Pt and Pd Modified WO 3 and ZnO Based Thin Film Sensors for Ethanol Sensing

机译：PT和PD改性WO <下标> 3 和ZnO基薄膜传感器的研究

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Ethanol sensors based on different WO~(3)and ZnO structures are studied in the present work. The XRD and SEM processes are used to characterize the sensing layer’s surface morphology which reveals the presence of nanoparticle in sensing layer. Further reducing the nanoparticle diameter by the addition of palladium (Pd) and platinum (Pt) for both the sensors (ZnO and WO~(3)) gives good results on sensitivity, operating temperature, response time and recovery time. Nanoparticle diameter for undoped WO~(3), Pd-modified WO~(3)and Pt-modified WO~(3)based sensors is 11.8, 6 and 5.4?nm, whereas nanoparticle diameter for undoped, Pd-modified and Pt-modified ZnO based sensors is 20, 14 and 11?nm, respectively. Analysis of dynamic response of the sensors when exposed to different concentrations of ethanol vapour (from 500 to 10,000?ppm) and various temperatures indicate the improvement in sensitivity up to 77.2% for WO~(3)and 74.6% for ZnO based sensors.
机译：基于不同WO〜（3）和ZnO结构的乙醇传感器在本作中进行了研究。 XRD和SEM工艺用于表征感测层的表面形态，揭示在感测层中的纳米粒子的存在。 通过添加钯（Pd）和铂（Pt）的进一步降低纳米颗粒直径（ZnO和WO〜（3））对灵敏度，工作温度，响应时间和恢复时间的良好结果提供了良好的结果。 纳米颗粒直径未掺杂WO〜（3），PD改性WO〜（3）和Pt改性的WO〜（3）的传感器是11.8,6和5.4？NM，而纳米颗粒直径未掺杂，PD改性和PT- 改进的ZnO基传感器分别为20,14和11ΩNM。 在暴露于不同浓度的乙醇蒸汽（500至10,000℃）时传感器的动态响应分析，并且各种温度表示WO〜（3）的敏感性高达77.2％的敏感性和74.6％的传感器。

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