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首页> 外文期刊>Measurement Science & Technology >On the calibration of rectangular atomic force microscope cantilevers modified by particle attachment and lamination
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On the calibration of rectangular atomic force microscope cantilevers modified by particle attachment and lamination

机译：粒子附着和层压修饰的矩形原子力显微镜悬臂的标定

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A simple but effective method for estimating the spring constant of commercially available atomic force microscope (AFM) cantilevers is presented, based on estimating the cantilever thickness from knowledge of its length, width, resonant frequency and the presence or absence of an added mass, such as a colloid probe at the cantilever apex, or a thin film of deposited material. The spring constant of the cantilever can then be estimated using standard equations for cantilever beams. The results are compared to spring constant calibration measurements performed using reference cantilevers. Additionally, the effect of the deposition of Cr and Ti thin films onto rectangular Si cantilevers is investigated.
机译：提出了一种简单有效的方法来估计可商购原子力显微镜（AFM）悬臂的弹簧常数，其基础是根据悬臂的长度，宽度，共振频率以及是否存在附加质量等知识来估计悬臂厚度。作为悬臂顶部的胶体探针或沉积材料的薄膜。然后可以使用悬臂梁的标准方程式估算悬臂的弹簧常数。将结果与使用参考悬臂梁进行的弹簧常数校准测量进行比较。此外，研究了在矩形Si悬臂上沉积Cr和Ti薄膜的影响。

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