Automated wafer-scale fabrication of electron beam deposited tips for atomic force microscopes using pattern recognition

J H KINDT; G E FANTNER; J B THOMPSON

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【24h】

Automated wafer-scale fabrication of electron beam deposited tips for atomic force microscopes using pattern recognition

机译：使用模式识别的原子力显微镜电子束沉积探针的自动晶圆级制造

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We present an automation technique for the growth of electron beam deposited tips on whole wafers of atomic force microscope cantilevers. This technique uses pattern recognition on scanning electron microscope images of successive magnifications to precisely place the tips on the cantilevers. We demonstrate the capabilities of the working system on a four-inch wafer of microfabricated small cantilevers with a total of approximately 2100 levers per week.

机译：我们提出了一种自动技术，用于在原子力显微镜悬臂的整个晶片上生长电子束沉积的尖端。该技术在连续放大的扫描电子显微镜图像上使用模式识别，以将尖端精确地放置在悬臂上。我们演示了微细小悬臂的四英寸晶圆上的工作系统功能，每周总共约有2100个杠杆。

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来源
《Nanotechnology》 |2004年第9期|共4页
作者
J H KINDT; G E FANTNER; J B THOMPSON;
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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类一般工业技术;
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