首页> 中国专利> 压电式微加工超声换能器(PMUT)

压电式微加工超声换能器(PMUT)

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明涉及一种压电式微加工超声换能器(PMUT)装置。PMUT包括基板和连接至该基板的边缘支承结构。膜连接至该边缘支承结构，使得在该膜与该基板之间限定有腔，其中，该膜被配置成能够以超声频率移动。该膜包括压电层和耦接至该压电层的相对侧的第一电极和第二电极。在该腔内设置有内部支承结构，该内部支承结构连接至该基板和该膜。

著录项

公开/公告号CN109196671A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-11

原文格式PDF
申请/专利权人应美盛公司;
展开▼

申请/专利号CN201780027435.7
发明设计人埃尔德温·NG;朱丽叶斯·明林·蔡;尼克尔·艾佩特;
展开▼

申请日2017-05-04
分类号H01L41/047(20060101);B06B1/06(20060101);
代理机构31327 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人汤陈龙;李丽
地址美国加利福尼亚州圣何塞市科技路1745号200室
入库时间 2024-02-19 09:09:06

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-28

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/047 申请日:20170504

实质审查的生效
2019-01-11

公开

公开

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 压电式微加工超声换能器(PMUT) [P] . 中国专利： CN109196671A . 2019-01-11
2. 压电式微加工超声换能器及其制造方法 [P] . 中国专利： CN108246593B . 2021.02.09
3. FLEXIBLE PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER (PMUT) AND FORMING METHOD THEREFOR, AND FLEXIBLE PMUT ARRAY AND FORMING METHOD THEREFOR [P] . 世界知识产权组织专利： WO2020062383A1 . 2020-04-02

机译：柔性压电微超声换能器（PMUT）及其形成方法，以及柔性PMUT阵列及其形成方法
4. Method for manufacturing capacitive micromachined ultrasonic transducer and apparatus configured to obtain subject information using the capacitive micromachined ultrasonic transducer [P] . 美国专利： US9352960B2 . 2016-05-31

机译：制造电容式微加工超声换能器的方法和配置为使用电容式微加工超声换能器获得对象信息的设备
5. PMUT ULTRASOUND TRANSDUCER WITH DAMPING LAYER [P] . EP3811425A1 . 2021-04-28

机译：带阻尼层的PMUT超声换能器