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参考气室、带参考气室的光电探测器及其制备方法和设备

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本发明涉及参考气室、带参考气室的光电探测器及其制备方法和设备，带参考气室的光电探测器包括光电探测器本体，光电探测器本体内设有参考气室，参考气室内填充有被测气体，且参考气室通过焊料的加热融化焊接方式密封；焊料包括金属焊料、合金焊料、玻璃焊料和陶瓷焊料的至少一种；加热融化焊接方式包括脉冲加热方式、恒温加热方式、气体加热方式和激光加热方式中的至少一种。本发明能对参考气室内的被测气体进行检测，对系统中激光器波长进行实时较准；光电探测器自带参考气室，提高了整体集成度，降低了成本，采用焊料加热融化焊接方式对参考气室进行密封，气密性大大提高，使用寿命大大延长，适用于不同气体的激光浓度检测仪。

著录项

公开/公告号CN109781659A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-21

原文格式PDF
申请/专利权人武汉市翎风光电科技有限公司;
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申请/专利号CN201811550051.6
发明设计人宋子毅;芦稷臣;
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申请日2018-12-18
分类号G01N21/39(20060101);H01L31/0203(20140101);
代理机构11212 北京轻创知识产权代理有限公司;
代理人杨立;姜展志
地址 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园南路18号光电工业园产业大楼905室
入库时间 2024-02-19 10:24:21

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-12-06

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N21/39 登记生效日:20191119 变更前: 变更后: 申请日:20181218

专利申请权、专利权的转移
2019-06-14

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/39 申请日:20181218

实质审查的生效
2019-05-21

公开

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