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一种电介质薄膜中电荷分布的双面原位测量系统及方法

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本发明涉及一种电介质薄膜中电荷分布的双面原位测量系统及方法，该系统包括待测样品、脉冲激光器、光电触发电路、双面测量光路、加压电路、测量电路；脉冲激光器产生的激光被分为两路，分别进入光电触发电路和双面测量光路中；双面测量光路将激光分两路依次分别入射到正面镀层电极和反面镀层电极；加压电路包括直流高压源，并通过限流电阻施加至电介质薄膜的反面镀层电极上，反面镀层电极还通过耦合电容连接单刀双掷开关的动端，两个不动端分别连接地和保护电路，保护电路与测量电路连接，正面镀层电极接地。与现有技术相比，本发明大大减小了热脉冲法在沿光入射方向上分辨率下降的问题，从整体上提高测量的空间分辨率。

著录项

公开/公告号CN110244138A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-17

原文格式PDF
申请/专利权人同济大学;
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申请/专利号CN201910458938.0
发明设计人郑飞虎;谢姣;张冶文;
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申请日2019-05-29
分类号G01R29/14(20060101);G01R29/24(20060101);
代理机构31225 上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人宣慧兰
地址 200092 上海市杨浦区四平路1239号
入库时间 2024-02-19 13:40:32

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-10-15

实质审查的生效 IPC(主分类):G01R29/14 申请日:20190529

实质审查的生效
2019-09-17

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