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一种检测装置、离子植入设备及离子束剖面的离子浓度分布的可视化方法

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摘要

本发明提供一种检测装置、离子植入设备及离子束剖面的离子浓度分布的可视化方法，检测装置用于检测离子束剖面方向的离子浓度分布，包括：检测屏，所述检测屏能够接收所述离子束辐照的一侧涂布有磷光材料；和处理器，与所述检测屏电性连接，能够根据所述磷光材料因接收所述离子束辐照而产生的磷光响应，获得所述离子束剖面的离子浓度分布，利用磷光材料在电磁辐射和离子射线激发下能发出磷光的特性，根据磷光材料因接收离子束辐照而产生的磷光响应，获得离子束剖面的离子浓度分布，其结构简单，且能够获得直观的磷光响应图像以供分析或计算，为离子束剖面的离子浓度分布检测提供了便利。

著录项

公开/公告号CN110444458A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-12

原文格式PDF
申请/专利权人德淮半导体有限公司;
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申请/专利号CN201910735926.8
发明设计人唐瑞龙;廖宜专;吴宗祐;林宗贤;
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申请日2019-08-09
分类号
代理机构上海立群专利代理事务所(普通合伙);
代理人杨楷
地址 223300江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
入库时间 2024-02-19 15:48:45

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-12-06

实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/244 申请日:20190809

实质审查的生效
2019-11-12

公开

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