公开/公告号CN111304615A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-19
原文格式PDF
申请/专利权人 昆山浦元真空技术工程有限公司;
申请/专利号CN202010250488.9
发明设计人 成林;
申请日2020-04-01
分类号
代理机构昆山中际国创知识产权代理有限公司;
代理人尤天珍
地址 215300 江苏省苏州市昆山市张浦镇俱巷路136号3号房
入库时间 2023-12-17 09:38:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20200401
实质审查的生效
2020-06-19
公开
公开
机译: 输入设备例如车辆驾驶舱中的触摸板,具有可磁化或磁性的元件,其位置相对于输入表面发生变化,从而使模具表面发生变化,从而在高度和输入位置产生局部差异
机译: 磁控溅射设备,用于执行基于真空的物理气相沉积,以用目标材料涂覆基板,该设备包括将等离子体集中在目标表面上的磁体组件,并包括液压致动器
机译: 在物理气相沉积过程中从目标表面选择性地吸引或排斥离子材料的方法和设备