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战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备

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本实用新型公开了一种战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备，真空计能测量由真空泵抽真空的真空腔体内的真空度并传信于控制系统，充气系统能给真空腔体内充不同气体，工件内侧面可拆卸的安装于真空腔体内的工件定位装置上，真空腔体内的离子轰击板能对工件外侧表面进行等离子清洗，真空腔体内的磁控阴极恰能包覆于工件外侧表面外部并与工件外侧表面保持设定距离，磁控阴极能在工件表面溅射沉膜，冷却系统能给磁控阴极和真空泵进行冷却，控制系统控制真空泵、磁控阴极、离子轰击板、充气系统和冷却系统运行，本实用新型全自动化控制，对战斗机驾驶舱玻璃罩表面沉积透明导电膜层效率高，膜层厚度均匀性好，膜层与玻璃罩结合牢固度高。

著录项

公开/公告号CN213266683U

专利类型实用新型
公开/公告日2021-05-25

原文格式PDF
申请/专利权人昆山浦元真空技术工程有限公司;
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申请/专利号CN202020456437.7
发明设计人成林;
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申请日2020-04-01
分类号C23C14/35(20060101);C03C17/00(20060101);
代理机构32311 昆山中际国创知识产权代理有限公司;
代理人尤天珍
地址 215300 江苏省苏州市昆山市张浦镇俱巷路136号3号房
入库时间 2022-08-22 21:42:50

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