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柔性非晶硅薄膜太阳能电池及其制备方法

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本发明提供了一种非晶硅薄膜柔性光伏电池，由如下膜层依次排列组成：不锈钢箔-铝-氧化锌铝膜-非晶硅或微晶硅n1层-非晶硅或微晶硅i1层-非晶硅或微晶硅p1层-非晶硅b1层-非晶硅n2层-非晶硅i2层-非晶硅p2层-氧化铟锡层-银浆栅线。同时提供了一种上述柔性光伏电池的制备方法，依次包括如下步骤：不锈钢箔抛光清洗；PVD真空镀铝膜；PVD真空镀氧化锌铝膜；PECVD真空镀非晶硅膜或非晶硅-微晶硅膜系；PVD真空镀氧化铟锡膜；PVD镀银浆栅线；经过后处理步骤，得到成品。本发明采用双结非晶硅-非晶硅或非晶硅-微晶硅电池结构，可大大提高良品率，耗能与耗材都非常少，可大幅度降低制造成本。

著录项

公开/公告号CN101707224A

专利类型发明专利
公开/公告日2010-05-12

原文格式PDF
申请/专利权人彭祥军;杨英颖;
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申请/专利号CN200910198262.2
发明设计人彭祥军;杨英颖;刘远祥;程琳;
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申请日2009-11-03
分类号H01L31/075(20060101);H01L31/20(20060101);
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人郑玮
地址 200333 上海市中江路879号9号楼A座1F
入库时间 2023-12-17 23:52:51

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-07-10

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L31/075 申请公布日:20100512 申请日:20091103

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-05-12

公开

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