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氧化锌膜(ZnO)或氧化镁锌膜(ZnMgO)的成膜方法及氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜装置

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摘要

本发明的目的在于提供透射率高的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法。本发明的氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜方法包括：(A)使含有锌或者锌和镁的溶液(4、8)雾化的工序；(B)对基板(2)加热的工序；(C)向加热中的基板的第一主面上供给雾化好的溶液和臭氧的工序。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-12-02

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/40 申请公布日:20110824 申请日:20080924

发明专利申请公布后的驳回
2011-10-05

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/40 申请日:20080924

实质审查的生效
2011-08-24

公开

公开

1. 氧化锌膜(ZnO)或氧化镁锌膜(ZnMgO)的成膜方法及氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜装置 [P] . 中国专利： CN102165097A . 2011-08-24
2. 氧化锌膜的成膜方法 [P] . 中国专利： CN1873051A . 2006-12-06
3. METHOD FOR PRODUCTION OF ZINC OXIDE (ZNO) FILM OR MAGNESIUM ZINC OXIDE (ZNMGO) FILM, AND APPARATUS FOR PRODUCTION OF ZINC OXIDE FILM OR MAGNESIUM ZINC OXIDE FILM [P] . 韩国专利： KR20110041569A . 2011-04-21

机译：氧化锌（ZNO）膜或氧化镁锌膜（ZNMGO）膜的生产方法以及氧化锌膜或氧化镁锌膜的生产装置
4. METHOD OF FORMING ZINC OXIDE FILM (ZNO) OR MAGNESIUM ZINC OXIDE FILM (ZNMGO) AND APPARATUS FOR FORMING ZINC OXIDE FILM OR MAGNESIUM ZINC OXIDE FILM [P] . 美国专利： US2011143053A1 . 2011-06-16

机译：形成氧化锌膜（ZNO）或氧化镁锌膜（ZNMGO）的方法和形成氧化锌膜或氧化镁锌膜的装置
5. Film deposition apparatus of magnesium oxide, zinc oxide or zinc film forming method and magnesium oxide zinc film zinc oxide film (ZnO) or of (ZnMgO) [P] . 日本专利： JPWO2010035312A1 . 2012-02-16

机译：氧化镁的膜沉积设备，氧化锌或锌膜的形成方法以及氧化镁锌膜或氧化锌膜（ZnMgO）