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METHOD OF FORMING ZINC OXIDE FILM (ZNO) OR MAGNESIUM ZINC OXIDE FILM (ZNMGO) AND APPARATUS FOR FORMING ZINC OXIDE FILM OR MAGNESIUM ZINC OXIDE FILM

机译：形成氧化锌膜（ZNO）或氧化镁锌膜（ZNMGO）的方法和形成氧化锌膜或氧化镁锌膜的装置

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摘要

A method of forming a zinc oxide film or a magnesium zinc oxide film which has a high transmittance. The method of forming a zinc oxide film or a magnesium zinc oxide film includes (A) converting a solution containing zinc, or zinc and magnesium into mist, (B) heating a substrate, and (C) supplying the solution converted into mist, and ozone to a first main surface of the substrate under heating.

机译：一种形成具有高透射率的氧化锌膜或氧化镁锌膜的方法。形成氧化锌膜或镁锌氧化物膜的方法包括：（A）将包含锌或锌和镁的溶液转化为雾状;（B）加热基板;以及（C）提供转化为雾状的溶液;和臭氧在加热下到达基板的第一主表面。

著录项

公开/公告号US2011143053A1

专利类型
公开/公告日2011-06-16

原文格式PDF
申请/专利权人 TAKAHIRO SHIRAHATA;HIROYUKI ORITA;AKIO YOSHIDA;MASAHISA KOGURA;
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申请/专利号US200813059356
发明设计人 MASAHISA KOGURA;AKIO YOSHIDA;HIROYUKI ORITA;TAKAHIRO SHIRAHATA;
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申请日2008-09-24
分类号C23C16/513;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/48;
国家 US
入库时间 2022-08-21 18:15:25

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