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表面形貌测量教学仪及采用该教学仪测量表面形貌的方法

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表面形貌测量教学仪及采用该教学仪测量表面形貌的方法，涉及表面形貌测量技术。它为了解决现有测量物体形貌的工具精度低、以及功能单一，无法满足教学过程中的多种实验的问题。该教学仪的可滑动探针呈竖直方向，平面反射镜固定在可滑动探针的顶部、且与可滑动探针垂直；激光器发出的激光经平面反射镜反射后进入四象限探测器的探测面。在可滑动探针下方放置待测样品，并使可滑动探针与待测样品接触；匀速移动待测样品，使可滑动探针与待测样品产生相对滑动，完成扫描，根据扫描结果获得待测样品的表面形貌。本发明结构简单、成本低，且测量结果精确度高，可用于开展光电子器件等光学专业课程的基础及深入内容的课堂教学演示。

著录项

公开/公告号CN105423962A

专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-23

原文格式PDF
申请/专利权人黑龙江大学;
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申请/专利号CN201510745422.6
发明设计人胡皓胜;王艺桥;单旭晨;刘书钢;
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申请日2015-11-05
分类号G01B11/30;
代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所;
代理人张利明
地址 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路74号
入库时间 2023-12-18 14:54:42

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-10-13

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B11/30 申请公布日:20160323 申请日:20151105

发明专利申请公布后的视为撤回
2016-04-20

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/30 申请日:20151105

实质审查的生效
2016-03-23

公开

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