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一种失效分析中分析晶格缺陷的TEM样品制备新方法

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摘要

本发明公开了一种失效分析中分析晶格缺陷的TEM样品制备新方法。该方法使用手动研磨代替聚焦离子束来制备TEM样品，使样品中的晶格缺陷在极小或极浅的情况下均能被发现，而且不受晶格缺陷的方向的影响。极大地促进了晶格缺陷的发现与观测，准确率高，对TEM样品的制备的研究具有重要意义。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-12-06

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N1/28 申请公布日:20161012 申请日:20160513

发明专利申请公布后的驳回
2016-11-09

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N1/28 申请日:20160513

实质审查的生效
2016-10-12

公开

公开

1. 一种失效分析中分析晶格缺陷的TEM样品制备新方法 [P] . 中国专利： CN106018018A . 2016-10-12
2. TEM样品的制备方法和失效分析方法 [P] . 中国专利： CN103913358A . 2014-07-09
3. Device for detecting the presence of at least one analyte in a biological sample, kit for detecting the presence of at least one analyte in a biological sample, and,Process for detecting the presence of at least one analyte in a biological sample. [P] . BR9811406A . 2000-08-22

机译：用于检测生物样品中至少一种分析物的存在的装置，用于检测生物样品中至少一种分析物的存在的试剂盒以及用于检测生物样品中至少一种分析物的存在的方法。
4. A sample preparation device for failure analysis in semiconductor wafer and its preparation method [P] . 韩国专利： KR100499093B1 . 2005-07-01

机译：用于半导体晶片中失效分析的样品制备装置及其制备方法
5. analyte detector to detect at least one analyte in at least one fluid sample, method for detecting at least one analyte in at least one fluid sample and use [P] . BR112019016912A2 . 2020-04-14

机译：用于检测至少一种流体样品中的至少一种分析物的分析物检测器，用于检测至少一种流体样品中的至少一种分析物的方法和用途