公开/公告号CN109059377A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-21
原文格式PDF
申请/专利号CN201810811510.5
申请日2018-07-20
分类号F25D1/00(20060101);F25D17/08(20060101);F25D25/04(20060101);
代理机构11331 北京康盛知识产权代理有限公司;
代理人刘世颂
地址 241000 安徽省芜湖市三山经济开发区峨溪路12号
入库时间 2023-06-19 07:49:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
公开
公开
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置