公开/公告号CN208968116U
专利类型实用新型
公开/公告日2019-06-11
原文格式PDF
申请/专利号CN201821165685.5
申请日2018-07-20
分类号
代理机构北京康盛知识产权代理有限公司;
代理人刘世颂
地址 241000 安徽省芜湖市三山经济开发区峨溪路12号
入库时间 2022-08-22 09:27:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-11
授权
授权
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置