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接触精度保证方法、接触精度保证机构和检查装置

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摘要

本发明提供接触精度保证方法、接触精度保证机构和检查装置。接触精度保证方法包括以下操作：在使探针卡的多个探针与基片接触并用测试器进行基片检查的检查装置中，在载置台上载置具有多个第一标记的位置对准用基片；将位置对准用基片在载置台上进行位置对准；将模拟探针卡的由透明体构成的位置确认用部件安装在探针卡的安装部的规定位置，其中位置确认用部件在与位置对准用基片的第一标记对应的位置具有多个第二标记；使位置对准用基片位于位置确认用部件正下方的接触区域中的规定位置；用拍摄方向为垂直方向的位置确认用摄像机拍摄第二标记和第一标记，来检测第二标记与第一标记的水平方向的偏离，其中位置确认用摄像机设置于与位置确认用部件的上方的第二标记分别对应的位置；以及在该偏离在容许范围内的情况下，保证基片与探针卡的探针的接触精度。

著录项

  • 公开/公告号CN111742399A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;

    申请/专利号CN201880089266.4

  • 发明设计人 山崎祯人;望月纯;

    申请日2018-12-19

  • 分类号H01L21/66(20060101);G01R31/28(20060101);G01R1/04(20060101);G01R1/073(20060101);

  • 代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人龙淳;刘芃茜

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 08:27:06

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