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电容式微机械加工超声换能器（CMUT）装置及制造方法

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本发明题为电容式微机械加工超声换能器(CMUT)装置及制造方法。本发明提供了一种形成电容式微机械加工超声换能器(CMUT)装置的方法，该方法包括将CMUT衬底结合到绝缘体上硅(SOI)衬底。CMUT衬底具有第一厚度，并且SOI衬底包括操作件、掩埋氧化物层和装置层。CMUT衬底或SOI衬底中的至少一者包括图案化介电层。装置层结合到图案化介电层以形成多个密封腔，并且装置层形成该多个腔的隔膜。该方法还包括将CMUT衬底的第一厚度减小至第二厚度，以及从CMUT衬底的与第一表面相对的第二表面形成多个硅通孔。

著录项

公开/公告号CN113304986A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-27

原文格式PDF
申请/专利权人通用电气公司;
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申请/专利号CN202110206829.7
发明设计人林一帧;马可·弗朗西斯科·艾米;亚历山德罗·斯图尔特·萨沃亚;
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申请日2021-02-24
分类号B06B1/06(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖;钱慰民
地址美国纽约州
入库时间 2023-06-19 12:22:51

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2023-06-23

授权

发明专利权授予

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