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物体定位系统、诊断和校准方法、定位控制方法、光刻设备和器件制造方法

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本发明涉及一种物体定位系统，包括：致动器系统；和测量系统，其中致动器系统包括由主要具有电致伸缩特性并且在没有电场的情况下基本没有净极化的材料制成的致动器，其中致动器系统被配置为向致动器施加电场，该电场包括偏置电场和叠加在偏置电场上的致动电场，所述致动电场的场强等于或小于偏置电场的场强，其中测量系统被配置为测量致动器的电特性，该电特性代表致动器的机械状态。

著录项

公开/公告号CN113661448A

专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-16

原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
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申请/专利号CN202080027579.4
发明设计人 B·詹森;S·A·A·阿布德尔莫伊蒂;H·巴特勒;K·J·F·卢南;A·辛格;R·E·J·R·范德维尔登;
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申请日2020-03-10
分类号G03F7/20(20060101);H02N2/06(20060101);G02B27/00(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人赵林琳;闫昊
地址荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 13:16:59

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-04-26

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2020800275794 申请日:20200310

实质审查的生效

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