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MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法

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摘要

本公开实施例提供了一种MEMS微镜、电子设备及MEMS微镜的使用方法；其中，MEMS微镜包括基底，镜面，静电吸合装置及驱动装置；镜面悬置于基底上；静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，第一静电电极位于基底上，第二静电电极位于镜面上；驱动装置的一端与基底连接，驱动装置的另一端与镜面连接，驱动装置能够发生弯曲，驱动装置被构造为能够带动镜面相对于基底发生运动；在驱动装置弯曲的状态下，镜面能够朝向第一静电电极运动，并能够通过第二静电电极静电吸合在第一静电电极上。本公开实施例为MEMS微镜提供了一种抗冲击振动的方案，其镜面在不使用的情况下可以通过静电吸合在基底上。

著录项

  • 公开/公告号CN114047625A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京理工大学;无锡微奥科技有限公司;

    申请/专利号CN202111157004.7

  • 发明设计人 谢会开;王鹏;

    申请日2021-09-29

  • 分类号G02B26/08(20060101);

  • 代理机构11442 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人杨璐

  • 地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号

  • 入库时间 2023-06-19 14:12:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-02-15

    公开

    发明专利申请公布

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