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用于使用基于物理的图像扰动确定缺陷的系统及方法

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本发明公开一种用于特性化试样的系统。在一个实施例中，所述系统包含经配置以获取试样的一或多个图像的特性化子系统及通信地耦合到所述特性化子系统的控制器。所述控制器可经配置以：从所述特性化子系统接收训练试样的一或多个缺陷的一或多个训练图像；产生所述训练试样的所述一或多个缺陷的一或多个增强图像；基于所述训练试样的所述一或多个缺陷的所述一或多个增强图像产生机器学习分类器；从所述特性化子系统接收目标试样的一或多个目标特征的一或多个目标图像；及使用所述机器学习分类器确定所述一或多个目标特征的一或多个缺陷。

著录项

公开/公告号CN114127802A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-01

原文格式PDF
申请/专利权人科磊股份有限公司;
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申请/专利号CN202080050929.9
发明设计人 M·普利哈尔;S·帕拉马西万;J·乔治;N·拉克希米纳拉辛汉;S·拉舞;S·查拉帕里;P·俄珀鲁里;
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申请日2020-07-24
分类号G06V10/764(20220101);G06V10/774(20220101);G06K9/62(20220101);G06N20/00(20190101);G06V10/82(20220101);G06N3/04(20060101);G06N3/08(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘丽楠
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 14:19:02

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2022-03-01

公开

国际专利申请公布

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