公开/公告号CN114114852A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力集成电路制造有限公司;
申请/专利号CN202111439153.2
申请日2021-11-30
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构31211 上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人郭立
地址 201315 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
入库时间 2023-06-19 14:20:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
公开
发明专利申请公布
机译: 基于规则的OPC评估方法和基于模拟的OPC模型评估方法
机译: 基于规则的OPC评估方法和基于仿真的OPC模型评估方法
机译: 基于规则的OPC评估方法和基于模拟的OPC模型评估方法