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感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法

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本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、由上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有：(A)通过酸的作用而极性增大的树脂；(B)光产酸剂；及阴离子(P)，其为选自由NO3‑、SO42‑、Cl‑及Br‑组成的组中的1种以上的阴离子，其中，相对于感光化射线性或感放射线性树脂组合物的总质量，上述阴离子(P)的含量为0.01ppb以上且100ppm以下。

著录项

公开/公告号CN114303098A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-08

原文格式PDF
申请/专利权人富士胶片株式会社;
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申请/专利号CN202080060658.5
发明设计人畠山直也;米久田康智;富贺敬充;东耕平;吉野文博;
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申请日2020-08-13
分类号G03F7/004(20060101);G03F7/038(20060101);G03F7/039(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人薛海蛟
地址日本国东京都
入库时间 2023-06-19 14:48:21

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法律状态
2022-04-08

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1. 感光化射线性或感放射线性树脂组合物的制造方法、感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、具备感光化射线性或感放射线性膜的空白掩模、光掩模、图案形成方法、电子器件的制造方法及电子器件 [P] . 中国专利： CN106133601A . 2016-11-16
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