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感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法

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本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、通过上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有(A)树脂及(B)通过光化射线或放射线的照射产生酸的由特定的通式(1)表示的化合物。

著录项

公开/公告号CN115151864A

专利类型发明专利
公开/公告日2022-10-04

原文格式PDF
申请/专利权人富士胶片株式会社;
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申请/专利号CN202180016486.6
发明设计人畠山直也;福崎英治;吉野文博;
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申请日2021-02-16
分类号G03F7/004;C07D327/02;C07D327/04;C07D327/06;C07D327/10;C07D339/00;C07D339/08;C07D279/10;C09K3/00;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20;C07D277/32;C07C309/04;C07C309/08;C07C309/12;C07C309/17;C07C309/19;C07C311/02;C07C313/04;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人薛海蛟
地址日本国东京都
入库时间 2023-06-19 17:02:55

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2022-10-04

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