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用于表征等离子体处理室内的膜的射频偏置电容耦合静电(RFB-CCE)探针装置

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本发明提供一种表征衬底处理中处理室内衬底沉积膜的方法。该方法包括当测量电容器设定在第一电容值时，确定探针头的电压-电流特性。该方法还包括当测量电容器设定在大于第一电容值的电容值时，将射频列运用到探针头上。该方法进一步包括为沉积膜提供初始电阻值和初始电容值。该方法还包括运用初始电阻值、初始电容值以及电压-电流特性生成模拟电压-时间曲线。该方法还进一步包括确定测量电压-时间曲线，该测量电压-时间曲线反映射频列跨越沉积膜的电位降。该方法还包括比较该两条曲线。如果二者差值小于预定阈值，运用初始电阻值和初始电容值来表征沉积膜。

著录项

公开/公告号CN102084472B

专利类型发明专利
公开/公告日2013-07-03

原文格式PDF
申请/专利权人朗姆研究公司;
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申请/专利号CN200980126806.2
发明设计人杰-保罗·布斯;吕克·阿尔巴雷德;金容;道格拉斯·L·凯尔;
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申请日2009-07-07
分类号H01L21/66(20060101);H01L21/205(20060101);H01L21/3065(20060101);H01L21/302(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人周文强;李献忠
地址美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:15:09

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-07-03

授权

授权
2011-07-20

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20090707

实质审查的生效
2011-06-01

公开

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1. 用于表征等离子体处理室内的膜的射频偏置电容耦合静电(RFB-CCE)探针装置 [P] . 中国专利： CN102084472B . 2013.07.03
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