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用于测量波前像差的方法和波前像差测量设备

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本发明公开了一种波像差测量方法，其中通过将从光源发射的光施加到所要测试的镜头上并且通过检测透射通过所要测试的镜头的光而以提高的测量准确度测量波像差。该方法包括在所要测试的镜头的光圈打开时测量波像差的步骤；在所要测试的镜头的光圈关闭时测量所要测试的镜头的光瞳的中心位置的步骤；和使用光瞳的中心位置作为原点利用多项式展开波像差的步骤。还公开了一种波像差测量设备。

著录项

公开/公告号CN102667439B

专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-25

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社尼康;
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申请/专利号CN201080052301.9
发明设计人田中一政;
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申请日2010-10-19
分类号G01M11/02(20060101);
代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人孙志湧;安翔
地址日本东京
入库时间 2022-08-23 09:31:37

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-11-25

授权

授权
2012-11-28

实质审查的生效 IPC(主分类):G01M11/02 申请日:20101019

实质审查的生效
2012-09-12

公开

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