公开/公告号CN102576189B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 聚斯微技术平版印刷有限公司;
申请/专利号CN201180004313.9
申请日2011-02-14
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人董敏
地址 德国加兴
入库时间 2022-08-23 09:37:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-06
授权
授权
2013-01-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/00 申请日:20110214
实质审查的生效
2012-07-11
公开
公开
机译: 用于在基本上彼此平行的两个物体之间进行主动楔形误差补偿的方法和装置,该物体可以被定位
机译: 用于在可以基本上彼此平行定位的两个物体之间进行主动楔形误差补偿的方法和装置
机译: 用于在两个物体之间可以基本彼此平行定位的主动楔形误差补偿的方法和装置